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書誌情報サマリ

書名

機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理     

著者名 近藤 英一/著
著者名ヨミ コンドウ エイイチ
出版者 共立出版
出版年月 2005.10


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No. 所蔵館 資料番号 請求番号 配架場所 資料種別 帯出区分 貸出
1 港南図書館0611342148532/コ/書庫一般和書 

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1989
1989
933.7

書誌詳細

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タイトルコード 1000000157333
書誌種別 図書
著者名 近藤 英一/著
著者名ヨミ コンドウ エイイチ
出版者 共立出版
出版年月 2005.10
ページ数 9,226p
大きさ 21cm
ISBN 4-320-08154-4
分類記号 549.8
書名 機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理     
書名ヨミ キカイ ザイリョウケイ ノ タメ ノ マイクロ ナノ カコウ ノ ゲンリ 
内容紹介 気体分子を一種の「工具」としてとらえることを切り口にマイクロ・ナノ加工の物理・化学原理を講述。ドライプロセスの「気体を工具として用いる」原理を中心に解説する。
著者紹介 早稲田大学大学院修了。川崎製鉄ハイテク研究所主任研究員、IMEC研究員などを経て山梨大学助教授。
本体価格 ¥2800
一般件名 薄膜 ナノテクノロジー



内容細目表:


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