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Material information summary

Title of book

よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み リソグラフィ技術の核心に迫る  図解入門  

Author name 佐藤 淳一/著
Author name Yomi サトウ ジュンイチ
Bookmaker 秀和システム
Publication years 2011.10


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1 港南図書館0612150011549.7/サ/書庫一般和書 

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2011
547.482
通信プロトコル

Book details

この資料の書誌詳細情報です。

Title code 1000000968530
Bibliography type 図書
Author name 佐藤 淳一/著
Author name Yomi サトウ ジュンイチ
Bookmaker 秀和システム
Publication years 2011.10
Page 271p
Size 21cm
ISBN 4-7980-3063-0
Classification 549.7
Title of book よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み リソグラフィ技術の核心に迫る  図解入門  
Title Yomi of book ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ リソグラフィ ノ キホン ト シクミ リソグラフィ ギジュツ ノ カクシン ニ セマル
Sub name リソグラフィ技術の核心に迫る
Sub name Yomi リソグラフィ ギジュツ ノ カクシン ニ セマル
Content introduction リソグラフィの基礎から発展までの技術を、プロセスフローを例にして豊富なイラストで分かりやすく解説した入門書。半導体製造現場に近い視点も取り入れ、歴史的経緯にも触れながら説明する。
Author introduction 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ナノフロント研究所代表。半導体技術コンサルタント、テクニカルライターとして活動。著書に「半導体の基礎強化書」など。
Price ¥2000
Note リソグラフィー 半導体



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