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Title of book

はじめての薄膜作製技術　　　　　

Author name 草野 英二／著
Author name Yomi クサノ エイジ
Bookmaker 森北出版
Publication years 2012.11

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Book details

この資料の書誌詳細情報です。

Title code 1000001111156
Bibliography type 図書
Author name 草野 英二／著
Author name Yomi クサノ エイジ
Bookmaker 森北出版
Publication years 2012.11
Page 7,160p
Size 22cm
ISBN 4-627-77452-0
Classification 549.8
Title of book はじめての薄膜作製技術　　　　　
Title Yomi of book ハジメテ ノ ハクマク サクセイ ギジュツ　
Content introduction 現代社会を支える基盤技術として欠くことのできない薄膜作製技術。その基礎から、真空蒸着法やスパッタリング法といった真空下における薄膜製作方法、薄膜の評価技術、応用までを解説する。
Author introduction 神戸大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。金沢工業大学バイオ・化学部教授。博士(工学)。
Price ￥２５００
Note 薄膜



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