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書誌情報サマリ

書名

はじめての半導体リソグラフィ技術   現場の即戦力  

著者名 岡崎 信次/著
著者名ヨミ オカザキ シンジ
出版者 技術評論社
出版年月 2012.1


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資料情報

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No. 所蔵館 資料番号 請求番号 配架場所 資料種別 帯出区分 貸出
1 みなと図書0113832125549.7/ハ/開架1F一般和書 
2 麻布図書館0313137390549.7/ハ/開架4F一般和書 

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2012
549.7
リソグラフィー 半導体

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1000000993883
書誌種別 図書
著者名 岡崎 信次/著   鈴木 章義/著   上野 巧/著
著者名ヨミ オカザキ シンジ スズキ アキヨシ ウエノ タクミ
出版者 技術評論社
出版年月 2012.1
ページ数 10,301p
大きさ 21cm
ISBN 4-7741-4939-4
分類記号 549.7
書名 はじめての半導体リソグラフィ技術   現場の即戦力  
書名ヨミ ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ 
内容紹介 光、電子線、X線・EUVなど様々なリソグラフィ技術の原理、特徴などを述べ、リソグラフィ技術を支えるマスク技術、レジスト技術、計測評価技術についてふれる入門書。液浸露光技術、ダブルパターニング技術を加えた改訂版。
著者紹介 (株)ギガフォトンからEUVAに出向。IEEEフェロー、SPIEフェロー。
本体価格 ¥2580
一般件名 リソグラフィー 半導体



内容細目表:


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