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Material information summary

Title of book

はじめての半導体リソグラフィ技術   現場の即戦力  

Author name 岡崎 信次/著
Author name Yomi オカザキ シンジ
Bookmaker 技術評論社
Publication years 2012.1


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No. Library Material number Call number Book location Material type Taking out division Checkout
1 みなと図書0113832125549.7/ハ/開架1F一般和書 
2 麻布図書館0313137390549.7/ハ/開架4F一般和書 

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2012
549.8
半導体

Book details

この資料の書誌詳細情報です。

Title code 1000000993883
Bibliography type 図書
Author name 岡崎 信次/著   鈴木 章義/著   上野 巧/著
Author name Yomi オカザキ シンジ スズキ アキヨシ ウエノ タクミ
Bookmaker 技術評論社
Publication years 2012.1
Page 10,301p
Size 21cm
ISBN 4-7741-4939-4
Classification 549.7
Title of book はじめての半導体リソグラフィ技術   現場の即戦力  
Title Yomi of book ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ 
Content introduction 光、電子線、X線・EUVなど様々なリソグラフィ技術の原理、特徴などを述べ、リソグラフィ技術を支えるマスク技術、レジスト技術、計測評価技術についてふれる入門書。液浸露光技術、ダブルパターニング技術を加えた改訂版。
Author introduction (株)ギガフォトンからEUVAに出向。IEEEフェロー、SPIEフェロー。
Price ¥2580
Note リソグラフィー 半導体



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