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書誌情報サマリ

書名

よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み　製造装置の全体を俯瞰する　　図解入門　　

著者名 佐藤 淳一／著
著者名ヨミ サトウ ジュンイチ
出版者 秀和システム
出版年月 2016.8

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No. 所蔵館 資料番号 請求番号 配架場所 資料種別 帯出区分 貸出
1 麻布図書館0312497423549.8/ｻ/開架４Ｆ一般和書　 ×
2 港南図書館0612493874549.8/ｻ/開架一般和書　 ○

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書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1000001547371
書誌種別 図書
著者名 佐藤 淳一／著
著者名ヨミ サトウ ジュンイチ
出版者 秀和システム
出版年月 2016.8
ページ数 259p
大きさ 21cm
ISBN 4-7980-4726-3
分類記号 549.8
書名 よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み　製造装置の全体を俯瞰する　　図解入門　　
書名ヨミ ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ　セイゾウ ソウチ ノ ゼンタイ オ フカン スル
副書名 製造装置の全体を俯瞰する
副書名ヨミ セイゾウ ソウチ ノ ゼンタイ オ フカン スル
内容紹介 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
著者紹介 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。長崎大学工学部非常勤講師等を務めた。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」等。
本体価格 ￥２０００
一般件名 半導体



内容細目表：


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