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書名

EUV時代の半導体リソグラフィ技術   現場の即戦力  

著者名 岡崎 信次/著
著者名ヨミ オカザキ シンジ
出版者 技術評論社
出版年月 2026.5


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2026
549.7 549.7
リソグラフィー 半導体

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No. 所蔵館 資料番号 請求番号 配架場所 資料種別 帯出区分 貸出
1 みなと図書0115486698549.7/イ/開架1F一般和書  ×

書誌詳細

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タイトルコード 1000002507636
書誌種別 図書
著者名 岡崎 信次/著   鈴木 章義/著   上野 巧/著
著者名ヨミ オカザキ シンジ スズキ アキヨシ ウエノ タクミ
出版者 技術評論社
出版年月 2026.5
ページ数 351p
大きさ 21cm
ISBN 4-297-15462-2
分類記号 549.7
書名 EUV時代の半導体リソグラフィ技術   現場の即戦力  
書名ヨミ イーユーヴイ ジダイ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ 
内容紹介 半導体集積回路の高集積化を牽引するリソグラフィ技術の基本と応用を詳述。超微細な構造を実現するナノインプリントリソグラフィ技術、光リソグラフィ技術の解像限界を突破するマルチパターニング技術などについて解説する。
著者紹介 ALITECS(株)に入社。IEEE Life Fellow、SPIE Fellow、応用物理学会Fellow。
本体価格 ¥3200
一般件名 リソグラフィー 半導体



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