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資料情報
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| No. |
所蔵館 |
資料番号 |
請求番号 |
配架場所 |
資料種別 |
帯出区分 |
貸出
|
| 1 |
みなと図書 | 0113539720 | 427.6/ﾘ/ | 書庫１ | 一般和書 | |
○ |
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
| タイトルコード |
1000000762939 |
| 書誌種別 |
図書 |
| 著者名 |
Michael A.Lieberman／著
Allan J.Lichtenberg／著
堀 勝／監修
佐藤 久明／訳
|
| 著者名ヨミ |
Michael A Lieberman Allan J Lichtenberg ホリ マサル サトウ ヒサアキ |
| 出版者 |
丸善
|
| 出版年月 |
2010.1 |
| ページ数 |
29,612p |
| 大きさ |
26cm |
| ISBN |
4-621-08223-2 |
| 分類記号 |
427.6
|
| 書名 |
プラズマ プロセスの原理 |
| 書名ヨミ |
プラズマ プロセス ノ ゲンリ |
| 内容紹介 |
半導体製造装置において使用される弱電離、非平衡プラズマに焦点を絞り、プラズマとプラズマ・プロセスに関する解析方法を基礎から応用まで原理的、解析的、系統的に解説。また、解析結果の適用方法を、多くの例題で提示。 |
| 著者紹介 |
カリフォルニア大学大学院バークレー校電気工学科教授。 |
| 本体価格 |
￥１８０００ |
| 一般件名 |
プラズマ物理学 |
内容細目表：
目次
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